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高纯气体高纯氢主要作用于核研究、氘核加速器的轰击粒子、示踪剂、可以做气相色谱氢焰化验原料。还可用于大规模集成电路的制造，提供还原气氛，作为配制SiH4/H2、PH3/H2、B2H6/H2等混合气的底气。
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